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本文目录导读：
关于微细加工技术的参考文献与期刊，以下是一些相关信息。
微细加工技术参考文献
1、《微细加工技术基础》：这本书是微细加工领域的基础教材，涵盖了微细加工技术的基本概念、原理、方法和应用等方面的内容。
2、《微纳制造技术》：这本书详细介绍了微纳制造技术的原理、方法、应用及发展趋势，包括微细加工技术的内容。
3、《微细加工技术在半导体产业中的应用》：这篇文章详细阐述了微细加工技术在半导体产业中的应用，包括微细加工技术的工艺流程、设备、材料等方面的内容。
4、《微细加工技术的最新发展》：这篇文章介绍了微细加工技术的最新进展，包括新的工艺方法、设备、材料以及应用领域等内容。
微细加工技术期刊
1、《微纳技术》：该期刊主要报道微纳制造、微细加工等领域的最新研究成果和技术进展。
2、《精密制造与自动化》：该期刊涉及微细加工技术在制造业中的应用，包括相关的工艺、设备、自动化技术等。
3、《半导体技术》：该期刊主要报道半导体制造相关的技术，包括微细加工技术在半导体制造中的应用。
4、《纳米技术与精密工程》：该期刊涉及纳米技术、微细加工技术及其在精密工程中的应用等内容。
信息仅供参考，具体参考文献和期刊可能因个人研究兴趣和方向而有所不同，建议根据具体需求，在学术搜索引擎或图书馆中查找相关的文献和期刊。